GB/T 47097-2026《氮化铝单晶抛光片》标准介绍

GB/T 47097-2026《氮化铝单晶抛光片》标准介绍

一、标准的基本信息

1. 标准编号与名称：GB/T 47097-2026《氮化铝单晶抛光片》，英文名为*Polished monocrystalline aluminum nitride wafers*。

2. 发布与实施：该标准于2026年1月28日由国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会联合发布，定于2026年8月1日正式实施。

3. 归口与管理：由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）归口，材料分技术委员会（SAC/TC 203/SC 2）执行，主管部门为国家标准委。

4. 起草阵容：中国电子科技集团公司第四十六研究所牵头，联合有色金属技术经济研究院、奥趋光电、北京大学、深圳大学等九家产学研单位共同起草。张丽、何烜坤、程红娟等十五位专家组成起草团队。

5. 分类信息：国际标准分类号ICS 29.045（半导体材料），中标分类号H83，标准全文16页，约1.7万字。

二、标准内容

1. 适用范围：聚焦微波功率器件领域，规范直径25.4 mm（1英寸）和50.8 mm（2英寸）氮化铝单晶抛光片的全生命周期质量管理。

2. 核心技术架构：构建"牌号分类—技术要求—试验方法—检验规则"四位一体框架。涵盖表面质量、几何尺寸、厚度偏差、表面粗糙度、位错密度、X射线衍射摇摆曲线半峰宽等关键性能指标。

3. 试验方法体系：配套制定科学的检测方法，包括表面形貌观测、厚度测量、晶体完整性评估等，确保数据可溯源、结果可比对。

4. 全流程规范：从标志标识、包装防护、运输贮存到随行文件、订货单内容，形成覆盖供应链各环节的标准化指引。

三、标准应用场景

1. 微波功率器件制造：氮化铝单晶因其超宽禁带（6.2 eV）、高热导率（~285 W/m·K）及与氮化镓晶格匹配等优异特性，成为5G基站、雷达系统、卫星通信等高频大功率器件的理想衬底材料。本标准为器件级抛光片提供质量基准。

2. 产业链质量管控：生产企业可依此建立内控标准，采购商可据此制定验收规范，第三方检测机构可据此开展合格评定，形成全链条质量共识。

3. 国际贸易与技术交流：作为国内首个氮化铝单晶抛光片国家标准，为国产产品走向国际市场提供技术背书，减少因标准缺失导致的贸易壁垒。

4. 科研与产业化衔接：高校、科研院所的研发成果可通过该标准实现产业化转化，加速从实验室到生产线的跨越。

四、总结

1. 里程碑意义：GB/T 47097-2026的发布，标志着我国在超宽禁带半导体材料领域迈出标准化关键一步，填补了氮化铝单晶抛光片国家标准的空白。

2. 产业赋能价值：标准的实施将为第三代半导体产业提供坚实的技术底座，助力我国在微波功率器件、紫外光电器件等战略领域实现自主可控。

3. 未来展望：随着氮化铝材料制备技术的成熟与产能扩张，该标准有望推动我国半导体衬底材料产业向高端化、标准化、国际化方向持续迈进。