电子厂洁净厂房检测标准及流程

问：2025年电子厂洁净厂房检测最新标准与操作流程详解  

答：  

一、标准名称

1.GB 500732013《洁净厂房设计规范》

2.GB/T 25915.12021《洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级》

3.GB 504572019《医药工业洁净厂房设计标准》

4.GB/T 361322018《电子工业洁净厂房施工质量验收规范》

5.GB/T 162922010《医药工业洁净室（区）悬浮粒子的测试方法》

二、标准内容

1.GB 500732013《洁净厂房设计规范》

该标准规定了洁净厂房的设计原则、洁净度分级、建筑结构、空气净化系统、设备设施等要求。洁净度等级分为ISO 1至ISO 9级，其中电子厂常用ISO 5级（对应0.5μm粒子浓度≤3520个/m³，5μm粒子浓度≤29个/m³）。环境参数要求：温度18~28℃，湿度45%~65%，静压差≥10Pa（不同洁净区之间），新风量≥40m³/(h·人)。气流组织需采用单向流或非单向流设计，单向流风速≥0.3m/s（垂直流）或≥0.4m/s（水平流）。  

2.GB/T 25915.12021《洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级》

标准明确了空气洁净度等级的划分依据，以0.1~5μm粒径粒子浓度为核心指标，分为9个等级（ISO 1~ISO 9）。检测方法要求使用激光粒子计数器，采样流量≥2.83L/min，每个测点采样时间≥1分钟。分级示例：ISO 4级对应0.3μm粒子浓度≤237个/m³，ISO 6级对应0.5μm粒子浓度≤35200个/m³。此外，标准规定了不同等级洁净室的最小采样点数，如面积≤10㎡时至少测2点，10~20㎡测3点。  

3.GB 504572019《医药工业洁净厂房设计标准》

虽以医药工业为核心，但电子厂可参照其微生物控制与气流组织要求。浮游菌浓度：洁净度ISO 5级≤10CFU/m³，ISO 7级≤100CFU/m³；沉降菌（φ90mm培养皿，30分钟）：ISO 5级≤1CFU/皿，ISO 7级≤3CFU/皿。压差梯度要求：洁净区与非洁净区≥10Pa，相邻洁净区≥5Pa。排风系统需配置高效过滤器（HEPA），过滤效率≥99.97%（对0.3μm粒子）。  

4.GB/T 361322018《电子工业洁净厂房施工质量验收规范》

标准聚焦施工验收环节，规定了风管漏风量≤0.1056m³/(m·h)（高压系统），高效过滤器安装泄漏率≤0.01%。地面平整度：用2m靠尺检测，缝隙≤2mm；墙面与顶面接缝需做圆弧处理，半径≥50mm。验收流程包括材料报验、隐蔽工程检查、系统调试、性能检测四阶段，检测不合格项需整改后复检。  

5.GB/T 162922010《医药工业洁净室（区）悬浮粒子的测试方法》

该标准明确了粒子浓度测试的仪器校准、测点布置、采样策略。仪器要求：粒子计数器需每年校准，示值误差≤±10%。测点布置按面积均布，每点间距≤2m，距墙面≥0.5m，距地面0.8~1.5m。采样次数：每个测点重复采样3次，取平均值；当粒子浓度≥10000个/m³时，单次采样量≥1L。  

三、检测流程

电子厂洁净厂房检测需遵循“准备初测整改复检报告”五阶段流程，具体步骤如下：  

1. 检测前准备

仪器校准：粒子计数器、风速仪、压差计、温湿度计等设备需经法定计量机构校准，有效期内使用。  

环境条件：洁净室已运行至少24小时，生产设备全开，人员数量固定（≤2人/10㎡）。  

文件审核：核查设计图纸、风量平衡记录、过滤器检漏报告等资料。  

2. 分项检测实施

（1）风量与风速检测

方法：用热球风速仪测风口风速，计算风量（风量=风速×风口截面积×3600）。  

标准：非单向流洁净室换气次数≥15次/h，单向流截面风速≥0.3m/s（垂直流）或≥0.4m/s（水平流）。  

（2）静压差检测

方法：用压差计测相邻区域压差，测点位于门中线高度，距地面0.8m。  

标准：洁净区与非洁净区≥10Pa，同级洁净区不同功能间≥5Pa，负压区（如更衣室）相对相邻区域≤10Pa。  

（3）悬浮粒子检测

仪器：激光粒子计数器（采样流量28.3L/min）。  

测点：按GB/T 25915.1计算，如100㎡洁净室需测10点。  

判定：所有测点粒子浓度≤对应等级限值，且平均值≤限值的80%。  

（4）微生物检测

浮游菌：用空气采样器（流量≥100L/min）采样10分钟，培养48小时后计数。  

沉降菌：布置φ90mm培养皿，暴露30分钟后培养72小时，每皿菌落数≤标准限值。  

（5）温湿度与噪声检测

温湿度：用温湿度计多点测量，每2小时记录1次，连续监测8小时，平均值需符合设计要求。  

噪声：用声级计测背景噪声，距设备≥1m，高度1.2m，噪声≤65dB(A)。  

3. 整改与复检

 对超标的项目（如压差不足、粒子浓度超限），需分析原因（如过滤器泄漏、风量失衡），更换设备或调整风阀后重新检测，直至全部指标合格。  

4. 检测报告编制

 报告应包含检测日期、环境条件、测点布置图、原始数据、结论等内容，附仪器校准证书、人员资质证明，由授权签字人签发。  

电子厂洁净厂房检测需严格依据国家标准，通过规范化流程确保生产环境符合微电子、半导体等工艺要求，最终保障产品良率与可靠性。