‌‌氮气纯度检测标准2025：超纯氮与高纯氮区别

问：氮气纯度检测标准2025有哪些？超纯氮与高纯氮有何区别？

答：

一、标准名称

1. GB/T 8979-2008《纯氮、高纯氮和超纯氮》

2. GB/T 5832.1《气体中微量水分的测定 第一部分：电解法》

3. GB/T 5832.2《气体中微量水分的测定 第二部分：露点法》

二、标准内容

一. GB/T 8979-2008《纯氮、高纯氮和超纯氮》：该标准适用于空气分离或经净化得到的气态或液态的纯氮、高纯氮和超纯氮，主要用作保护气、置换气、反应气等。其中对不同纯度等级的氮气质量指标进行了定义。纯氮纯度≥99.99%，高纯氮纯度>99.999%，超纯氮纯度>99.9999% 。同时对杂质含量做出限定，例如对于高纯氮，其氧气含量需≤3ppm，氩气含量≤5ppm，一氧化碳含量≤1ppm，二氧化碳含量≤1ppm，甲烷含量≤1ppm，水分含量≤3ppm 。对于超纯氮，各项杂质含量的限定更为严格，如氧气含量≤0.5ppm，氩气含量≤2ppm，一氧化碳含量≤0.1ppm，二氧化碳含量≤0.1ppm，甲烷含量≤0.1ppm，水分含量≤1ppm。该标准还对产品的检验方法以及包装、标志、贮运、安全警示等方面做出规定。

二. GB/T 5832.1《气体中微量水分的测定 第一部分：电解法》：适用于测定氢气、氮气、氧气、氩气、氦气等气体中微量水分，测定范围为0.1μmol/mol～1000μmol/mol。其原理是基于五氧化二磷吸收气体中的水分生成偏磷酸，在直流电场作用下，偏磷酸被电解为五氧化二磷和水，根据电解水所消耗的电量与水的质量成正比关系，可求出气体中的水分含量。该标准详细规定了仪器的组成、工作条件、测定步骤以及结果计算等内容。

三. GB/T 5832.2《气体中微量水分的测定 第二部分：露点法》：适用于测定氢、氧、氮、氩、氦、氖、氪、氙、氧化亚氮、六氟化硫、压缩空气及其他在露点仪测定温度范围内不发生冷凝和化学变化的气体中的微量水分。测定范围一般为 -100℃～+20℃露点温度。其原理是当气体在恒定压力下以一定流速流经露点仪测量室中的抛光金属镜面时，气体中的水分会在镜面上冷凝，此时的镜面温度即为露点温度，通过测量露点温度来确定气体中的水分含量。该标准对露点仪的技术要求、测量步骤、结果计算以及仪器的校准等方面都有明确说明。

三、超纯氮与高纯氮区别

超纯氮的纯度要求大于99.9999%，高纯氮的纯度要求大于99.999%。从数值上看，超纯氮比高纯氮的纯度更高，这意味着超纯氮中所含的杂质更少。在实际应用中，超纯氮由于其极低的杂质含量，主要应用于对气体纯度要求极高的领域，如半导体芯片制造过程中的外延、光刻等关键工序，以及一些高端科研实验，在这些场景下，即使极微量的杂质也可能对产品质量或实验结果产生严重影响。高纯氮则常用于对纯度要求稍次但仍较高的场合，如电子工业中的一般性保护气、化学气相淀积时的载气等。在一些对氮气纯度有较高要求但又未达到超纯级别的制药、化工生产环节也会使用高纯氮。 

四、检测重要性

氮气纯度检测至关重要。在工业生产中，若氮气纯度不足，可能导致产品质量下降，如在金属热处理中，不纯的氮气无法有效隔绝氧气，致使金属氧化；在食品保鲜行业，杂质较多的氮气不能很好地抑制微生物生长，缩短食品保质期。常见检测方法有气相色谱法，利用不同气体在固定相和流动相中的分配系数差异，实现对氮气中杂质的分离与检测，从而确定氮气纯度，该方法分离效果好、灵敏度高。还有质谱法，可检测出氮气中的痕量杂质，通过对氮气样品离子化并分析质荷比来确定杂质种类和含量，准确性高但设备成本昂贵。检测流程一般包括样品采集、预处理，选择合适检测方法进行分析，最后对数据进行处理得出氮气纯度结果。检测要求检测人员具备专业知识与技能，检测仪器定期校准维护，以保证检测结果的准确性与可靠性 。