GB/T 44928-2024《微电子学微光刻技术术语》解读大全

GB/T 44928-2024《微电子学微光刻技术术语》解读大全

一、标准的基本信息

1.标准编号：GB/T 44928-2024。

2.发布日期：2024年12月31日。

3.实施日期：2024年12月31日。

4.发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会。

5.主管部门：国家标准委。

6.归口部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）。

7.英文标准名：Terms of microlithography technology for microelectronics。

8.起草人：陈宝钦、王香、李和委、王力玉、李新涛、冯伯儒、薛丽君、郝美玲、薛彩荣。

9.国际标准分类号：31.030。

二、标准内容

1.范围：本标准界定了微电子学微光刻技术相关的术语和定义，涵盖微电子光刻技术、先进光刻技术、微光刻图形化与图形数据处理技术、微光刻感光材料、铬板与基板材料、光掩模技术、光刻工艺（曝光、蚀刻与微纳米加工技术）、电子束掩模制造与直写技术、光刻及掩模质量参数测量和评定、掩模制造设备和微光刻设备等。

2.术语定义：标准详细定义了“微电子学”“半导体科学与技术”“肖特基接触”“PN结”“能带理论”等关键术语。

3.结构：标准按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》起草。

三、标准应用场景

1.教学与科研：为微电子学和光刻技术的教学提供标准化术语，便于学术交流和知识传播。

2.生产与应用：在微电子器件制造、半导体芯片加工等领域，统一术语有助于提高生产效率和质量控制。

3.贸易与技术交流：标准化术语为国际贸易和技术合作提供了统一的语言基础，减少误解和沟通成本。

4.设备研发：为掩模制造设备和微光刻设备的研发提供术语支持，促进技术创新。

四、总结

1. GB/T 44928-2024《微电子学微光刻技术术语》是微电子领域的基础性标准，对推动行业发展具有重要意义。

2. 该标准通过统一术语，规范了微光刻技术的各个环节，为教学、科研、生产、应用和贸易提供了坚实的技术支撑。

3. 它的实施将促进微电子学与光刻技术的深度融合，推动相关领域的技术进步和产业升级。