最新稀有气体检测标准解读（2025 版）

问：2025版稀有气体检测标准有哪些更新？如何依据这些标准准确检测稀有气体？

答：

一、标准名称

1. GB/T 4842-2017《氩》

2. GB/T 16945-2009《工业用高纯氦和高纯氩》

3. HG/T 2863-2011《电子工业用高纯氩》

4. SY/T 7359-2017《稀有气体同位素比值测定方法》

5. SY/T 7361-2017《稀有气体分离与组分含量分析 四极杆质谱法》

二、标准内容

一. GB/T 4842-2017《氩》规定了工业用氩气的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等内容。在技术要求上，对氩气纯度、杂质含量等作出明确规定，如氩气纯度需达到99.99%及以上，对氧气、氮气、氢气、总碳氢化合物等杂质含量也设定了严格的上限。试验方法涵盖了气相色谱法等用于检测纯度及杂质含量的手段。

二. GB/T 16945-2009《工业用高纯氦和高纯氩》适用于纯度不低于99.999%的高纯氩和高纯氦。针对高纯氩，在纯度方面有着极高要求，对其中的氦、氖、氧、氮、氢、二氧化碳、总碳氢化合物及水分等杂质含量均以极低的数值进行限定。检测方法包含气相色谱法、质谱法等多种高灵敏度的分析手段，以确保能够精准检测出极微量的杂质。

三. HG/T 2863-2011《电子工业用高纯氩》主要针对电子工业领域使用的高纯氩制定标准。要求氩气纯度不低于99.9995%，对杂质的控制更为严苛。对于影响电子工业生产的关键杂质，如金属杂质、颗粒物质等也作出了明确的限量规定。检测过程需采用先进的分析仪器，如电感耦合等离子体质谱仪（ICP - MS）用于检测金属杂质，颗粒计数器用于测定颗粒物质含量。

四. SY/T 7359-2017《稀有气体同位素比值测定方法》详细阐述了利用质谱仪等设备测定稀有气体同位素比值的方法原理、仪器设备、样品采集与制备、测定步骤以及数据处理等方面。通过该标准能够准确测定如氦、氩等稀有气体中不同同位素的比值，在地质研究、环境监测等领域具有重要应用价值。

五. SY/T 7361-2017《稀有气体分离与组分含量分析 四极杆质谱法》规定了使用四极杆质谱仪对稀有气体进行分离和组分含量分析的方法。该方法能够有效分离并精确测定稀有气体混合物中各组分的含量，包括氦、氖、氩、氪、氙等。通过对不同质量数离子的检测和分析，实现对稀有气体各组分的定性与定量分析。

三、检测重要性、方法、作用

稀有气体检测在诸多领域意义重大。在工业生产中，确保稀有气体纯度可保障产品质量，如在半导体制造中，高纯氩气的纯度直接影响芯片生产质量。在科研领域，准确测定稀有气体同位素比值有助于地质年代测定、环境演变研究等。

检测方法多样，气相色谱法通过不同物质在固定相和流动相中的分配系数差异实现分离检测，可用于检测稀有气体纯度及杂质含量；质谱法依据离子的质荷比进行分析，能精确测定同位素比值和微量杂质；露点法通过测量气体中水蒸气露点温度确定水分含量。这些检测方法相互配合，为准确获取稀有气体各项参数提供保障，助力相关行业的稳定发展与科研工作的深入推进 。